產(chǎn)品概述：

VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機(jī)可用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿性涂覆溶液的涂膜制備。

主要特點(diǎn)：

• 真空吸附方式固定樣件，操作簡(jiǎn)便。
• 使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置，以減少偏心而造成的震動(dòng)或飛片。
• 根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤，且更換方便簡(jiǎn)單。
• 設(shè)有12組程序，每組包含6個(gè)運(yùn)行階段。
• 電機(jī)啟動(dòng)快速穩(wěn)定，可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。
• 50W/24V 直流電機(jī)
• 適于在Ar氣環(huán)境中工作（真空泵放置在手套箱外）

參數(shù)：

• 電機(jī)功率：50W/24V
• 速度范圍：500-10000rpm
• 程序運(yùn)行：可儲(chǔ)存12組程序，每組程序包含6個(gè)運(yùn)行階段
• 增減速率設(shè)置范圍：100rpm/s-2000rpm/s
• 時(shí)間范圍：0-60s
• 吸盤：Φ19mm、Φ60mm

進(jìn)氣口：上蓋有一個(gè)直徑6mm的進(jìn)氣口可將需要的氣體通入腔體，實(shí)現(xiàn)在氣氛環(huán)境下旋轉(zhuǎn)涂覆

可選加熱部分：上蓋內(nèi)部增加紅外燈管加熱，采用K型熱偶測(cè)溫，數(shù)字溫控器控溫，*高120℃，可使得樣品涂覆后原位烘干，用于薄膜太陽(yáng)能電池等研究。

產(chǎn)品規(guī)格：

• 尺寸：450mm×280mm×340mm；
• 重量：20kg